超纯三氟化氮

标准号

T/CCGA 30003-2019

标准名称

超纯三氟化氮

英文名称

Ultra pure nitrogen trifluoride

状态

现行

发布日期

2019-10-29

实施日期

2020-01-29

ICS 分类

71.100.20 工业气体

起草单位

中国船舶重工集团公司第七一八研究所;中国工业气体工业协会

发布部门

团体标准-中国工业气体工业协会