微纳米金属烧结体电阻率测试方法四探针法
T/CASAS 019-2021
- 标准号
- T/CASAS 019-2021
- 标准名称
- 微纳米金属烧结体电阻率测试方法四探针法
- 英文名称
- Test method for resistivity of micro and nano metal sintered compact: four probe method
- 状态
- 现行
- 发布日期
- 2021-11-01
- 实施日期
- 2021-12-01
- ICS 分类
- 31.080.01 半导体器分立件综合
- 起草单位
- 北京半导体照明科技促进中心;南方科技大学;有研粉末新材料股份有限公司;北京康普锡威科技有限公司;上海贺利氏工业技术材料有限公司;国家纳米科学中心;广州四探针科技有限公司;哈尔滨理工大学;工业和信息化部电子第五研究所;中国科学院微电子研究所;复旦大学;深圳基本半导体有限公司;广东工业大学;西安交通大学;重庆大学;北京第三代半导体产业技术创新战略联盟;BOSCHMAN TECHNOLOGY
- 发布部门
- 团体标准-北京第三代半导体产业技术创新战略联盟