微纳加工 离子束辐照应变诱导三维纳米结构与器件的加工方法
T/BSPT 002-2018
- 标准号
- T/BSPT 002-2018
- 标准名称
- 微纳加工 离子束辐照应变诱导三维纳米结构与器件的加工方法
- 英文名称
- Micro/nano fabrication The fabrication of 3D nanostructures formed by strain via ion beam irradiation
- 状态
- 现行
- 发布日期
- 2018-06-20
- 实施日期
- 2018-07-01
- ICS 分类
- 19.020 试验条件和规程综合
- 起草单位
- 中国科学院物理研究所
- 发布部门
- 团体标准-北京粉体技术协会