微波ECR等离子体发生器校准规范

标准号

T/BEA 40002-2022

标准名称

微波ECR等离子体发生器校准规范

英文名称

Calibration Specification for Microwave ECR Plasma Generator

状态

现行

发布日期

2022-01-18

实施日期

2022-02-09

ICS 分类

01.020 术语学(原则和协调配合)

起草单位

北京东方计量测试研究所

发布部门

团体标准-北京电子仪器行业协会