微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法
GB/T 43748-2024
- 标准号
- GB/T 43748-2024
- 标准名称
- 微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法
- 英文名称
- Microbeam analysis—Transmission electron microscopy—Method for measuring the thickness of functional thin films in integrated circuit chips
- 状态
- 现行
- 发布日期
- 2024-03-15
- 实施日期
- 2024-10-01
- ICS 分类
- 71.040.40 化学分析
- CCS 分类
- N33 电子光学与其他物理光学仪器
- 归口单位
- 全国微束分析标准化技术委员会
- 起草单位
- 广东省科学院工业分析检测中心;胜科纳米（苏州）股份有限公司;南方科技大学
- 发布部门
- 国家市场监督管理总局