集成电路制造设备术语

标准号

GB/T 40577-2021

标准名称

集成电路制造设备术语

英文名称

Terminology for integrated circuit（IC）manufacturing equipment

状态

现行

发布日期

2021-10-11

实施日期

2022-05-01

ICS 分类

31.220 电子电信设备用机电元件

CCS 分类

L95 电子工业生产设备综合

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位

中电科电子装备集团有限公司;中微半导体设备（上海）股份有限公司;上海微电子装备（集团）股份有限公司;江苏卓远半导体有限公司;中国电子技术标准化研究院;东莞市中镓半导体科技有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司

发布部门

国家市场监督管理总局