表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

标准号

GB/T 20176-2025

标准名称

表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

状态

现行

ICS 分类

71.040.40 化学分析

CCS 分类

N33 电子光学与其他物理光学仪器